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光譜共焦傳感器在納米計中的應用原理介紹

點擊次數:1746 更新時間:2018-09-03
  光譜共焦傳感器應用于表面難以測量的物體(技術性及困難表面),是一種非接觸式輪廓測量的通用的測量解決方案。理想情況下,共焦傳感器適合于敏感的,軟的或液體的表面。適用于微機械工程,電氣工程,光學行業,塑料和造紙行業,半導體和PCB產業的檢測,工具行業等。
  使用光譜共焦測量技術,可以得到超高分辨率。納米級分辨率源于上述經過特殊處理得到的加長光譜范圍。由于采用檢測焦點的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測量光斑,從而允許測量非常小的被測物體。這也意味著,即使被測表面有非常輕微的劃痕,也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。
  由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測量鉆孔結構。而其他測量方式,如激光三角反射式測量,對于小孔往往無能為力,因為小孔形成的陰影會遮擋反射光的光路,無法進行測量。針對這種小孔測量任務,微型光譜共焦傳感器探頭,這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內部進行測量。
  另一種非常適合光譜共焦傳感器的應用是測量多層透明材料的厚度。與其他測量方法不同,光譜共焦傳感器在測量這種物體時,僅需要一支探頭就可以完成測量。
  測量被測物體前端面和后端面的反射光,從而得到層厚信息。由于測量只使用白光,無需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路,傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環境或者有電磁干擾要求的環境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許長50m的光纖連接探頭和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒,這會影響測量精度,甚至使測量變得不可完成。由于采用的是光學測量方法,探頭到被測物體的距離也有一定限制。
  光譜共焦傳感器納米計主要特點
  1、納米級分辨率;與光強度無關,與被測體反射系數無關;
  2、堅固的結構,使用壽命長;
  3、易操作且動態測量可以達到很高的測量頻率,匹配自動化的需求。操作人員不需要經過專業的培訓也能得到可靠的測量結果;
  4、NLS12傳感器,具有簡化的獨立系統,可以在工業或交通不便的環境中進行測量;
  5、與三角反射法不同,幾乎無反射角要求,且無反射平面阻擋之影響,因此可用于小孔深度測量;
  6可以計算面積,厚度或體積;
  7、可進行平整度的測量,高度或位置的測量;
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